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京セラ株式会社

技術文書

京セラ株式会社

歩留まり向上や保守コスト削減効果も、半導体分野で期待される単結晶YAGとは

単結晶サファイアに似た特性に加え、より優れた耐プラズマ性を備える「単結晶YAG」が注目されている。プラズマ雰囲気中の各種部材に適用することで、半導体製造における歩留まりの向上や部材の耐久性向上が期待できるという。

コンテンツ情報
公開日 2024/01/29 フォーマット PDF 種類

技術文書

ページ数・視聴時間 2ページ ファイルサイズ 721KB
要約
歩留まり向上や保守コスト削減効果も、半導体分野で期待される単結晶YAGとは
 物理的特性や化学的特性、幅広い波長の光に対する透過率の高さなど、単結晶サファイアに近い性質に加え、より優れた耐プラズマ性を備える「単結晶YAG」。代表的な用途の1つに、半導体製造プロセスがある。前工程で、シリコンウエハ上に微細な回路を作り込む際、プラズマを用いたエッチング加工が多用されているためだ。

 プラズマエッチングのチャンバー内に露出している部材に、耐プラズマ性の低い素材が使用されている場合、それらも同時に腐食されて微細な不純物が生じてしまう。そのため露出する部材には、耐プラズマ性に加えてパーティクルの発生が抑えられる素材を使っていることも重要になる。

 半導体の微細化が進む中、さらなるパーティクル低減が求められているため、この単結晶YAGに、これまで以上の効果が期待されている。本資料では、単結晶YAGの結晶育成から加工まで手掛ける老舗メーカーの取り組みを紹介する。半導体の歩留まり向上に加えて、保守コストの削減効果も期待されている単結晶YAGの特性をぜひ確かめてほしい。