いまさら聞けないジャイロセンサー入門

ジャイロセンサー（角速度センサー）とは、回転角速度の測定を実現する慣性センサーの一種です。角速度とは、ある物体の角度が単位時間当たりどれだけ変化しているか、つまり物体が回転している速度を表す物理量です。

　動きを検知する慣性センサーの代表として、加速度センサーがよく知られていますが、ジャイロセンサーは加速度センサーでは反応しない回転の動きを測定します。近年ではジャイロセンサーも電子機器に一般的に搭載されるようになり、スマートフォンやゲーム機器、デジタルカメラ、カーナビなどで利用されています。

　また車載グレードに対応したジャイロセンサーであれば、安全走行支援として横すべり検知やエアバッグの作動用として横転検知にも使われます。車の回転を検知する、というのは直感的に分かりやすいですが、人間の手の動きというのも関節により円運動を多く含むため、手持ちで操作や手持ちによるブレを補正するにはジャイロセンサーで動きを検知するのが適している、というわけです。

　本稿では数多くあるジャイロセンサー種別の中から、ICタイプの振動式ジャイロセンサーに焦点を当てて紹介をするとともに、シリコンに微細加工を施すことで駆動と検出に静電容量方式を利用したMEMSジャイロセンサーの原理を説明します。

※本資料はEDN Japanの記事をまとめたブックレットです。