半導体業界向け装置メーカーが採用した生産最適化のためのツールとは

ASML社は、半導体業界向けリソグラフィ装置の大手メーカーの1つであり、集積回路やマイクロチップの生産に欠かせない複雑な製造装置を製造している。

日々革新を続ける半導体業界において、極めて高い品質基準に従って製品を供給し続けるだけでなく、新しい製造装置の設計開発や、供給サイクルの短縮、そして市場動向に合わせいた生産最適化を同時に進めなければいけないという課題があった。

そうした中で、「新しい生産ラインを稼働させる前にシミュレーションを実行」し、「生産プロセスの順序を最適化」できるツールとして採用されたのが「Plant Simulation」だ。

本ホワイトペーパーでは、製造装置のリードタイムの短縮を目標とした、生産段階向けのPlant Simulationモデルの作成など具体的な手法に触れながら、ASML社の成功事例を詳しく紹介する。