状態基準保全システムには、なぜMEMS加速度センサーが最適なのか？

　状態基準保全（CbM：Conditional Based Maintenance）の市場は著しい成長を見せ、振動の検出に用いられるMEMS（Micro Electro Mechanical Systems）ベースの加速度センサー（MEMSセンサー）も急速な進化を遂げている。機械の状態を知る上で振動解析は重要な手段であり、振動検知には圧電センサーが市場を独占してきたが、近年、帯域幅、ノイズ性能、測定範囲（gレンジ）の値で不十分とされてきたMEMSセンサーの中にはこの問題を克服することに成功し、中～高性能のMEMSセンサーを製品化、圧電センサーに匹敵するものが登場している。

　ただCbMシステムに適用する際、圧電センサーの置き換え可能なMEMSセンサー製品は限られており、各メーカーの製品の中で、その性能には大きな差が見られるのが現状である。本稿ではISO 10816に基づきMEMSセンサーの帯域幅、ノイズ性能、gレンジなど各種製品性能を分析し、CbMシステム向けの実力を把握。他製品との徹底的な比較から、アナログ・デバイセズのMEMSセンサーADXL100xファミリの圧電センサーに匹敵する高い性能が明らかになった。