従来は難しかった液体の微小流量計測、安定的かつ正確に行う方法とは？

　製品の小型化、薄型化に伴い、製造時に使われる薬液、溶剤、接着剤、シール剤などの各種液体の使用量も減少し、わずかな流量の差異が製造品質に大きな影響を及ぼすようになっている。また、新たな製造技術の導入に際しては、高価な材料を使用することになるため、液体の使用量も最適化し、流量管理も厳格化しなければならない。

　こうした背景から近年飛躍的にニーズが高まっているのが、0.1～50ml／min程度の微小流量を計測するソリューションだ。微小流量は、従来の定量ポンプや重量計測、時間計測といった手法では安定的な計測は難しい領域だったが、現在はさまざまな方式の微小流量計がリリースされている。

　本コンテンツでは、微小流量計を選定する際に留意すべきポイントとして、高い信頼性、パラメータ変更の容易さ、液体と計測器への影響が相互にないこと、コストパフォーマンスに優れていることの4つを提示。併せて、微小流量計に採用されている代表的な5つの計測方式ごとに、それぞれのメリットとデメリットを解説しているので、自社の要件に適した製品を選択する上で参考にしてほしい。