高NA EUV露光装置の登場

　今回は、ASMLが開発する「高NA（開口数） EUV露光装置」に関して、その技術への期待や初号機がIntelに設置されるまでの過程、さらに今後計画されている、NAが0.75の「Hyper-NA」EUV露光装置を含むロードマップなどを伝えた記事をまとめました。

収録記事
・ASMLの新型EUV装置、ムーアの法則を今後10年延長可能に
・ASML、初の高NA EUV露光装置をIntelに出荷
・1台3億8000万ドル、重量は150トン――明かされる高NA EUV露光装置のスケール
・Intelが高NA EUV装置の組み立てを完了、Intel 14Aからの導入に向けて前進
・重量はクジラ級！　超巨大な高NA EUV装置の設置をIntelが公開
・開口数0.75の「Hyper-NA」EUV装置　2030年に登場か

＊）本ホワイトペーパーは、2021年11月～2024年6月にEE Times Japanで掲載した記事を再編集したものです。