MEMSデバイスの品質や信頼性を確保、効果的なテストを実施するには？

　自動車や医療、モバイル、ホームオートメーションなど、さまざまな分野で重要性が高まっているのがMEMS（微小電気機械システム）デバイスだ。これは、電子部品と可動部品を組み込むテクノロジーおよび微小デバイスのことを意味する。

　一般的なMEMSデバイスとして、インクジェットのヘッド／加速度計／ジャイロスコープ／マイクロフォン／圧力センサーなどが挙げられる。MEMSメーカーは、これらのデバイスにおける品質や確度、信頼性などを確保するためにテストと測定を行うことが必要だ。しかし、テストにはさまざまなものがあるため、自社が開発するデバイスに適したテストの戦略を実践することが重要といえる。

　本資料では、MEMSの基礎知識やユースケースなどを解説するとともに、デバイスそのものの信頼性や性能を確保するために重要なDCパラメトリックテストやキャリブレーションなどのテストを実施する方法を紹介する。さらに企業固有のテストや測定要件に応えるカスタマイズ可能なテスト製品を紹介しているので、ぜひ参考にしてほしい。