半導体露光装置用クリーンルーム環境の発塵問題を解消、次世代ケーブルの実力

　半導体露光装置の製造現場となるクリーンルーム環境において、ケーブルチェーン内のケーブルからの発塵は大きな課題だ。可動部品の数を抑えれば発塵は減らせるが、自動化された製造ラインでケーブルの動きをなくすのは、ほぼ不可能だ。また、ラウンドケーブルやチューブを分ける仕切版も発塵の原因となるが、これを使用しないとケーブルやチューブ同士の摩擦によって変形やズレが生じ、結果として発塵が増えてしまう。

　そのため、クリーンルーム環境で使用されるケーブルやケーブルチェーンを選定する際は、ケーブル材料の発塵特性と、システム全体の中でのケーブルの相互作用を重視する必要がある。そこで本資料では、ISOのクリーンルーム認証を取得した、ある2種類のケーブルを紹介する。一方はトラックレスケーブルで、もう一方はフラットケーブルだ。

　いずれもクリーン性が高いのはもちろん、繰り返し屈曲されても発塵が極力抑えられるため、露光装置の生産性向上と、パーティクル低減による歩留まり向上に大きく貢献するという。本資料では、これらの2種類のケーブルの発塵を測定した試験結果を基に、その実力を解説しているので、ぜひ参考にしてほしい。