低発塵かつ繰り返し屈曲に対応、EUV時代の半導体露光装置に最適なケーブルとは
半導体製造プロセスが微細化する昨今、ナノサイズのパーティクルも歩留まり悪化の要因となるため、装置内で使うケーブルも、低発塵かつ低アウトガス特性であることが求められる。この要件を満たすケーブルを取り上げ、特長を解説する。
2025/01/31
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半導体露光装置用クリーンルーム環境の発塵問題を解消、次世代ケーブルの実力
半導体露光装置の製造現場となるクリーンルーム環境で、ケーブルチェーン内のケーブルからの発塵は大きな課題だが、それを取り除くのは容易ではない。この解決策として注目される2種類のケーブルの実力を、発塵試験の結果を基に紹介する。
2025/01/31