半導体不良解析の新境地、プロセス開発を加速する次世代の3D X線顕微鏡の実力
エレクトロニクスの不良解析では、非破壊で可視化および特性評価が可能な3D X線顕微鏡(XRM)が有効だといわれている。しかし、分解能が低いなどの問題もあった。そこで、このような問題を解消した次世代のXRMを紹介する。
2025/02/12
エレクトロニクスの不良解析では、非破壊で可視化および特性評価が可能な3D X線顕微鏡(XRM)が有効だといわれている。しかし、分解能が低いなどの問題もあった。そこで、このような問題を解消した次世代のXRMを紹介する。
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2025/02/12
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2024/04/30
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2024/04/30