欧米で勢い増すフォトニックデバイス製造、その高い要求水準をどう実現すべきか
ナノメートルレベルの超微細デバイスなどにより、ビジネスや生活を大きく変革する可能性を秘めるシリコンフォトニクス。ただ、その製造・検査装置に求められる要求水準は極めて高い。欧米などの事例を交え、その最先端技術に迫る。
2022/04/22
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デバイスの高精度配置を効率化、シリコンフォトニクス分野で求められる技術とは
微細化、高精度化が進む現代の製造現場においても、特にナノスケールレベルでの精度が求められるシリコンフォトニクス分野。その超微細デバイスの配置やアライメント、アライメント間のプロセスを、効率的に最適化する新たな技術に迫る。
2022/04/22