歩留まり向上や保守コスト削減効果も、半導体分野で期待される単結晶YAGとは
単結晶サファイアに似た特性に加え、より優れた耐プラズマ性を備える「単結晶YAG」が注目されている。プラズマ雰囲気中の各種部材に適用することで、半導体製造における歩留まりの向上や部材の耐久性向上が期待できるという。
2023/12/01
単結晶サファイアに似た特性に加え、より優れた耐プラズマ性を備える「単結晶YAG」が注目されている。プラズマ雰囲気中の各種部材に適用することで、半導体製造における歩留まりの向上や部材の耐久性向上が期待できるという。
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